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北廣科技承擔(dān)的“射頻發(fā)生器研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化”國(guó)家科技重大專項(xiàng)02專項(xiàng)課題，已于2019年1月26日完成了綜合績(jī)效評(píng)價(jià)，順利通過(guò)國(guó)家正式驗(yàn)收。這標(biāo)志著北廣科技首次承擔(dān)的國(guó)家科技重大專項(xiàng)任務(wù)圓滿完成。

“02專項(xiàng)”是《國(guó)家中長(zhǎng)期科學(xué)和技術(shù)發(fā)展規(guī)劃綱要（2006-2020年）》確定的十六個(gè)重大專項(xiàng)之一，旨在開(kāi)發(fā)集成電路關(guān)鍵制造裝備，掌握具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的成套先進(jìn)工藝及相關(guān)新材料技術(shù)，打破我國(guó)高端集成電路制造裝備與工藝完全依賴進(jìn)口的狀況。公司研發(fā)的射頻發(fā)生器產(chǎn)品達(dá)到了研制任務(wù)合同書(shū)的各項(xiàng)要求，具備了進(jìn)入集成電路行業(yè)的技術(shù)條件。課題促進(jìn)了國(guó)內(nèi)射頻發(fā)生器零部件行業(yè)的技術(shù)水平和產(chǎn)業(yè)發(fā)展，提升了產(chǎn)業(yè)競(jìng)爭(zhēng)力，推動(dòng)了我國(guó)集成電路等行業(yè)關(guān)鍵制造設(shè)備的國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程。

“射頻發(fā)生器研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化”課題，面向極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝對(duì)射頻發(fā)生器的功率穩(wěn)定度、精度和線性度等技術(shù)要求，突破了一系列關(guān)鍵技術(shù)瓶頸，研發(fā)了三款射頻發(fā)生器產(chǎn)品。新產(chǎn)品通過(guò)了北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司的工藝測(cè)試驗(yàn)證考核，并且通過(guò)了第三方科學(xué)技術(shù)成果評(píng)價(jià)。此前，本課題已通過(guò)了組織嚴(yán)格的現(xiàn)場(chǎng)測(cè)試、檔案正式驗(yàn)收和內(nèi)部驗(yàn)收。本輪正式驗(yàn)收，評(píng)審專家組聽(tīng)取了課題完成情況報(bào)告和現(xiàn)場(chǎng)測(cè)試組的驗(yàn)收測(cè)試報(bào)告，審閱了驗(yàn)收資料，經(jīng)過(guò)專家組問(wèn)詢、討論和逐項(xiàng)打分，認(rèn)定課題已經(jīng)完成合同書(shū)中約定的各項(xiàng)考核指標(biāo)，一致同意課題通過(guò)驗(yàn)收！

“射頻發(fā)生器研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化”課題，共獲得了4000多萬(wàn)元的國(guó)家政府資金資助，申請(qǐng)了42項(xiàng)專利（其中國(guó)內(nèi)發(fā)明專利34項(xiàng)，國(guó)際發(fā)明專利3項(xiàng)），備案發(fā)布了3項(xiàng)產(chǎn)品的企業(yè)標(biāo)準(zhǔn)，建設(shè)了小批量生產(chǎn)線，培養(yǎng)打造了一支專業(yè)化的產(chǎn)業(yè)團(tuán)隊(duì)。射頻發(fā)生器的研發(fā)成功和產(chǎn)業(yè)化實(shí)施，為公司打造高端產(chǎn)品，向?qū)�業(yè)化、產(chǎn)業(yè)化和國(guó)際化戰(zhàn)略發(fā)展，實(shí)現(xiàn)北廣科技“做強(qiáng)國(guó)內(nèi)行業(yè)之首、創(chuàng)建國(guó)際知名企業(yè)”做出了貢獻(xiàn)！